支持实验内容：

（1）镀膜设备的基本操作实验

实验目的：熟悉镀膜设备的开机、换靶材、抽真空、充气、气流量控制、溅射时间等基本操作流程及注意事项。

（2）多种金属结构图形设计实验

实验目的：利用光刻工艺设计好需要制备的金属结构图形，通过溅射剥离工艺制备各类型金属结构图形。基于光刻系统设计直导线、叉指电极、欧姆型电极、圆形电极等图形，通过溅射工艺了解各类电极制备工艺。

（3）镀膜工艺对金属成膜的影响实验

实验目的：通过试验溅射仪器真空度、气流量、时间等参数，了解溅射工艺对金属成膜质量的影响。

（4）衬底类型对金属成膜的影响实验

实验目的：通过试验硅、二氧化硅、玻璃、柔性基底等各类型衬底，了解衬底类型对金属成膜质量的影响。

（5）粘附层对金属成膜的影响实验

实验目的：通过试验粘附层类型、厚度等参数，了解粘附层对金属成膜质量的影响。

（6 ）剥离工艺对金属成膜的影响实验

实验目的：通过试验剥离时间、温度等参数，了解玻璃工艺对金属成膜质量的影响。

                                                                各类金属电极

                                      金属薄膜                                              金属薄膜截面图