本设备为通用型的自动真空离子束溅射设备，可对基材进行真空溅射镀膜，除了溅射金、银、铂、铬、铝等金属材料和氧化物，并保证良好粘附性，并能适应每天24小时不间断的运行方式。
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OTKS-1300I磁控溅射镀膜机 |
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设备型号 |
OTKS-1300I |
空载恢复真空 |
2×10－3Pa≤10min |
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靶源 |
圆靶/矩形靶/柱靶 |
设备电源 |
380V50Hz交流 |
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靶位数 |
3靶自动旋转 |
工作托盘调速 |
转速0～30rpm，径向跳动<±1mm |
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靶尺寸 |
可选 |
设备压缩空气 |
气压0.4~0.6MPa |
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靶材尺寸 |
可选 |
高压力自清洗机 |
轰击电压1000-2500V可调可（选配） |
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工作托盘 |
可选 |
环境温度 |
10～35℃ |
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真空室内腔尺寸 |
1300*1250（mm） |
相对湿度 |
不大于80% |
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溅射源 |
双RF电源 |
设备自重 |
约5.0T |
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真空系统 |
分子泵+双极旋转片泵+罗茨泵+POLYCOLD |
控制 |
PLC半自动/全自动 |
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空载极限真空 |
8.0 ×10-5Pa （空载24小时） |
设备冷却水 |
工业软水或循环水源，使用水压0.2～0.4Mpa，最高水压＜0.45 Mpa；水量>20L/min，水温18-25℃。 |
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靶尺寸，靶位数，真空室内腔尺寸可根据用于需求配置 |
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苏州工业园区仁爱路99号D115室
