OTKS-900I磁控溅射镀膜机

设备型号

OTKS-900I

空载恢复真空

2×10^－3Pa≤10min

靶源

圆靶/矩形靶/柱靶

设备电源

380V50Hz交流

靶位数

2-3

工作托盘调速

转速0～30rpm，径向跳动<±1mm

靶尺寸

6英寸（可选）

设备压缩空气

气压0.4~0.6MPa

靶材尺寸

φ150mm@6英寸靶

高压力自清洗机

轰击电压1000-2500V可调可（选配）

工作托盘

<φ200mm的圆片

环境温度

10～35℃

真空室内腔尺寸

900*700（mm）

相对湿度

不大于80%

溅射源

DC电源/MF电源/RF电源（13.56MHz）

设备自重

约3.0T

真空系统

分子泵+双极旋转片泵

控制

PLC半自动/全自动

空载极限真空

8.0 ×10^-5Pa  （空载24小时）

设备冷却水

工业软水或循环水源，使用水压0.2～0.4Mpa，最高水压＜0.45 Mpa；水量>20L/min，水温18-25℃。

靶尺寸，靶位数，真空室内腔尺寸可根据用于需求配置