支持实验内容：

（1）刻蚀设备的基本操作实验

实验目的：熟悉刻蚀设备的开机、清洗、温湿度、换气、夹具固定、腐蚀液、腐蚀时间等基本操作流程及注意事项。

（2）多种刻蚀图形的设计实验

实验目的：利用光刻工艺设计好需要刻蚀的结构图形，通过刻蚀工艺制备各类型硅刻蚀结构。基于光刻系统设计线条、形状、倒角等图形，通过刻蚀工艺了解各类硅孔结构制备工艺。

（3）不同晶型对刻蚀图形的影响实验

实验目的：通过试验不同晶型、不同衬底等参数，了解刻蚀工艺对刻蚀图形的影响。

（4）不同介质层对刻蚀工艺的影响实验

实验目的：通过试验光刻胶、介质膜、厚度等参数，了解不同介质层对刻蚀图形的影响。

（5）不同环境参数对刻蚀工艺的影响实验

实验目的：通过试验不同温度、湿度、时间等参数，了解不同环境参数对刻蚀图形的影响。

（6）倒角结构对刻蚀图形的影响实验

实验目的：通过设计三角、直角、异形等倒角结构参数，了解倒角结构对刻蚀图形的影响。

刻蚀效果图