桌面光刻机单掩膜版-桌面光刻机单掩膜版-欧泰克测控技术(苏州)有限公司
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    欧泰克L-365-2E桌面微型光刻机,专为微米级图案制作而设计

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    欧泰克L-365-2E桌面微型光刻机,专为微米级图案制作而设计,旨在保障卓越的图形转移精度。设备采用紫外LED冷光源,结合双非球面石英透镜,可生成半角<的平行光,相较传统接触式曝光机,其极致紧凑的体积将移形换影置于桌面之上,为操作提供了便利与精准。

    该光刻机广泛适用于微流控芯片、MEMS器件、光电子器件以及声表面波器件等制备领域。其性能尤其适合高校、科研院所以及企业展开微细加工工艺研究。紧随现代技术的步伐,欧泰克桌面微型光刻机的问世为微纳加工注入了新的活力,助力客户在项目目标的实现过程中迈向更高精度、更具创新性的阶段。

    OTKL-365-2E桌面微型光刻机

    曝光光源

    紫外LED

    光源平行性

    2°

    光源波长

    365nm

    光源寿命

    20000h

    曝光面积

    4英寸、6英寸可选

    电源输入

    AC220V±10V50HZ

    曝光方式

    单面接触式定时曝光

    功率

    250W

    曝光分辨率

    2um

    重量

    25kg

    曝光强度

    20~200mW/cm2可调

    外形尺寸

    382(长)*371(宽)*435(高)

    曝光不均匀性

    5%

    工作环境

    温度0℃-40 ℃,相对湿度<80 %

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