欧泰克L-365-2E桌面微型光刻机,专为微米级图案制作而设计,旨在保障卓越的图形转移精度。设备采用紫外LED冷光源,结合双非球面石英透镜,可生成半角<2°的平行光,相较传统接触式曝光机,其极致紧凑的体积将移形换影置于桌面之上,为操作提供了便利与精准。
该光刻机广泛适用于微流控芯片、MEMS器件、光电子器件以及声表面波器件等制备领域。其性能尤其适合高校、科研院所以及企业展开微细加工工艺研究。紧随现代技术的步伐,欧泰克桌面微型光刻机的问世为微纳加工注入了新的活力,助力客户在项目目标的实现过程中迈向更高精度、更具创新性的阶段。
OTKL-365-2E桌面微型光刻机 | |||
曝光光源 | 紫外LED | 光源平行性 | ≤2° |
光源波长 | 365nm | 光源寿命 | ≥20000h |
曝光面积 | 4英寸、6英寸可选 | 电源输入 | AC220V±10V,50HZ |
曝光方式 | 单面接触式定时曝光 | 功率 | 250W |
曝光分辨率 | 2um | 重量 | 25kg |
曝光强度 | 20~200mW/cm2可调 | 外形尺寸 | 382(长)*371(宽)*435(高) |
曝光不均匀性 | ≤5% | 工作环境 | 温度0℃-40 ℃,相对湿度<80 % |